On-line Foup AMC Monitoring Equipment

Foup氣態分子污染物線上監控設備 - NFA-1007F



產品特點:

  • Online全自動監測分析系統
  • 偵測晶圓潔淨程度
  • 可達pptv偵測極限
  • 內標準品即時修正
  • 遠端即時儀控
  • 自動線上鎖點與復歸
  • 通過SEMI S2認證

設備規格:

  • Model No:NFA-1007F
  • Power Supply:3Phase AC 220V 60Hz + PE ,30A
  • Size :W1550 x D1300 x H2100 mm
  • Weight : 500 Kg
  • 應用領域:電子、半導體晶圓製程品質評估與改善方案

線上監測非粒狀懸浮化學污染物(AMC),針對晶圓傳送盒( FOUP)內環境進行監控,對產品製程的良率掌握與提升有關鍵性的影響

  • 24小時自動化樣品導入

24小時自動化樣品導入系統,利用高潔淨度之PFA管線快速採取晶圓傳送盒內環境空氣

  • 同步式內標準品導入系統

每個注入的樣品均同步導入 NF-ISTD,以達到即時修正機台訊號變化,增加分析數據穩定度和可信度目的

  • 自動線上鎖點與復歸機制

系統自動執行線上異常點連續監控,待鎖點偵測數值確認無誤並落入允收標準內,系統即自動復歸為常規監控狀態

  • 遠端即時儀控
  • 人性化操作介面、數據彙整資料庫
  • 軟體整合功能、數據匯出、趨勢圖彙整
  • 即時與完整之售後服務