超純試劑微量元素分析 Trace metal analysis
使用感應耦合電漿串聯式質譜儀 (ICP-QQQ) 進行微量元素分析，樣品可為 UPW、超純酸、鹼、有機溶劑、蝕刻液...等化學品及晶圓表面萃取酸溶液，其偵測極限可達 ppq 濃度範圍
應用範圍 : 化學品原料控管：顯影劑、蝕刻液、光阻劑、UPW；製程污染: 半導體蝕刻製程、生產製程段(空氣中微量金屬檢測)；晶圓表面殘留；化學廠生產品質控管等 (如圖製程特用化學品)
製程特用化學品