NFA-1007F
在线自动化 FOUP 气态分子污染物分析设备
在线自动化 FOUP 气态分子污染物分析设备
在线监测非粒状悬浮化学污染物(AMC)，针对硅片传送盒 ( FOUP) 内环境进行监控，对产品制程的良率掌握与提升有关键性的影响
| 产品特点 |
24小时自动化样品导入，利用高洁净度之PFA管线快速采取晶圆传送盒内环境空气
晶圆传送盒串接进样定点式 VOCs 在线分析设备
可 24小时无人化监控气态分子污染物 / 挥发性有机化合物
可搭配厂务系统智能化传送待测定晶圆
有效判断 200 种以上高低沸点之挥发性有机化合物
整合式分析系统与优化侦测条件
智能自发性检核与调校系统
可限值设定，自动发报提醒
人性化操作接口与远段操控
数据数据库与报告输出系统
