NFA-1007F
線上自動化 FOUP 氣態分子污染物分析設備

線上監測非粒狀懸浮化學污染物(AMC)，針對晶圓傳送盒( FOUP)內環境進行監控，對產品製程的良率掌握與提升有關鍵性的影響

產品特點  

 24小時自動化樣品導入，利用高潔淨度之PFA管線快速採取晶圓傳送盒內環境空氣
晶圓傳送盒串接進樣定點式 VOCs 線上分析設備
可 24小時無人化監控氣態分子污染物 / 揮發性有機化合物
可搭配廠務系統智能化傳送待測定晶圓盒
有效判斷 200 種以上高低沸點之揮發性有機化合物
整合式分析系統與最佳化偵測條件
智能自發性檢核與調校系統
可限值設定，自動發報提醒
校驗模組搭配 STD & ISTD 標準氣體，精準定量特定化合物種
人性化操作介面與遠段操控
數據資料庫與報告輸出系統