NFA-1007QT
線上自動化高解析度氣態分子污染物分析設備

高解析度線上監測非粒狀懸浮化學污染物(AMC),利用高分辨率飛行質譜儀在常見38種有機化合物可於10分鐘內完成採樣、分析與數據判讀,針對無塵室環境即時監控及製程良率掌握與提升有絕對的可靠度 具備在地生產技術,可依新發現化合物種進行客製化標準氣體開發與生產,以增進樣品分析的可靠性與穩定性


產品特點  

24小時自動化樣品導入,高潔淨度之PFA管線,最大佈點距可達方圓200m內建高效濃縮裝置(NF獨家濃縮管技術)
同步式內標準品導入系統每個注入的樣品均同步導入NF-ISTD,以達到即時修正機台訊號變化,增加分析數據穩定度和可信度
自動線上鎖點與復歸機制:系統自動執行線上異常點連續監控,待鎖點偵測數值確認無誤並落入允收標準內,系統即自動復歸為常規監控狀態
人性化操作介面、數據彙整資料庫
軟體整合功能、數據匯出、趨勢圖彙整
SEMI S2認證機台
即時與完整之售後服務