On-line AMC Monitoring Equipment

氣態分子污染物線上監控設備 - NFA-1007Advanced

產品特點:

  • 24小時自動化樣品導入
  • 同步式內標準品導入系統
  • 自動線上鎖點與復歸機制
  • 遠端即時儀控

設備規格:

  • Model No:NFA-1007Advanced
  • Power Supply:3Phase AC 220V 60Hz + PE ,30A
  • Size : D1352 x W1080 x H2220 mm
  • Weight : 500 Kg

線上監測非粒狀懸浮化學污染物(AMC),針對無塵室環境對產品或製程的良率掌握與提升有關鍵性的影響

  • 24小時自動化樣品導入

      24小時自動化樣品導入系統,高潔淨度之PFA管線佈,最大佈點距可達方圓 150 m

   系統連續分析下因感度變異產生之數據變化
       
  • 同步式內標準品導入系統

     導入 ISTD 校正系統連續分析數據相對穩定且可靠

 

  • 自動線上鎖點與復歸機制

      系統自動執行線上異常點連續監控,待鎖點偵測數值確認無誤並落入允收標準內,系統即自動復歸為常規監控狀態

  • 遠端即時儀控
  • 人性化操作介面、數據彙整資料庫
  • 軟體整合功能、數據匯出、趨勢圖彙整
  • 即時與完整之售後服務