硫/磷化物分析

硫/磷化物分析 (P/S compounds analysis)

對於高科技廠區特別以半導體廠區隨半導體晶圓技術從20奈米逐漸推進到10奈米,相對應無塵室作業環境的品質要求錙銖必較。在製程黃光區中的DMS等硫化物會造成光罩及曝光機之霧化,造成運轉成本之增加及良率之下降。如何有效的即時監測硫化物 : 二硫化碳 Carbon Disulfide (CS2)、 二甲基硫 Dimethyl Sulfide (DMS)、二甲基二硫 Dimethyl Disulfide (DMDS) 、硫化氫 Hydrogen Sulphide (H2S)、甲硫醇 Methyl Mercaptan (CH3-SH)等,利用高階濃縮技術及氣相層析搭配火焰光度檢測器(PFD)可有極低之偵測極限。