高純度特殊氣體/大宗氣體微量不純物分析

高純度特殊氣體/大宗氣體微量不純物分析 (Special /Bulk gas analysis)

半導體製程用特殊氣體或大宗氣體, 如: SiH4、NF3、NH3、CF4、N2、H2、O2、Ar..等微量不純物CO/CO2/N2/Ar/H2/He/O2/THC(CH4) 分析,藉由氣相層析儀搭配脈衝式放電偵測器(GC-PDHID)、熱導偵測器(GC-TCD)、火焰離子化偵測器(GC-FID)進行檢測分析,其偵測極限最低可達10 ppb。
應用領域 : 光電面板製程、LED製程、半導體製程等氣體品質確認、氣體純化效能分析、特殊氣體分析