超純試劑微量元素分析

超純試劑微量元素分析(Trace metal analysis)

使用感應耦合電漿串聯式質譜儀 (ICP-QQQ) 進行無機元素分析,樣品可為UPW、超純酸、鹼、有機溶劑、蝕刻液...等化學品及晶圓表面無機污染物,,其偵測極限可達 sub-ppt濃度範圍。
應用領域 : 半導體蝕刻製程段化學品原料控管、生產製程段空氣中微量金屬檢測、晶圓表面殘留、化學廠生產品質控管、顯影劑、蝕刻液、光阻劑、UPW等品質控管。