微量揮發性有機污染物分析

微量揮發性有機污染物分析 (VOCs Analysis)

環境空氣中非粒狀懸浮化學污染物監測分析技術,利用Canister、Sample tube、採氣袋等,採集樣品經由氣相層析質譜儀(GC-MS)或氣相飛行時間質譜儀(GC-QTOF )進行未知物定性篩查與微污染定量分析,偵測極限可至 ppt濃度範圍。
應用領域 : 製程環境空氣揮發性及半揮發性有機污染物檢測、未知物鑑定、空氣過濾材料使用週期監控、晶圓表面揮發性及半揮發性有機污染物檢測、晶圓傳送盒FOUP內部氣體微污染快速分析 。
偵測極限參考 :

Compound name GC-MS GC-QTOF
µg/m3 ppbv µg/m3 ppbv
IPA 0.0356 0.0150 0.0062 0.0025
Acetone 0.0492 0.0201 0.0149 0.0063
CNF 0.0549 0.0020 0.0087 0.0003
2-Butanone 0.0280 0.0090 0.0064 0.0020
Ethyl Acrtate 0.0324 0.0090 0.0101 0.0028
Benzene 0.0256 0.0080 0.0021 0.0007
Toluene 0.0188 0.0050 0.0016 0.0004