氣相層析高解析質譜分析

氣相層析高解析質譜分析(GC- QTOF Analysis )

氣相層析飛行時間質譜儀,分析所得的精確分子量可排除同重素干擾並進一步進行結構解析與鑑定。
Ex.
GC-MS Data: 無法僅由質譜斷片得知不純物為何

Impurity identified by GC-QTOF: 由精確質量數得知不純物結構與來源

應用領域 : 製程環境空氣揮發性及半揮發性有機污染物檢測、未知物精確分子量解析與鑑定、空氣過濾材料使用週期監控、晶圓表面揮發性及半揮發性有機污染物檢測、晶圓傳送盒FOUP內部氣體微污染快速分析。