硫/磷化物分析 P/S compounds analysis
针对硫/磷化合物：二硫化碳 Carbon Disulfide (CS2)、 二甲基硫 Dimethyl Sulfide (DMS)、硫化氢 Hydrogen Sulfide (H2S) 等硫/磷化合物的检测，有利于高科技厂区技术推进的污染排除，如在制程黄光区中DMS等硫化物造成光罩及曝光机雾化，使运转成本增加与良率下降，利用高阶浓缩技术及气相层析搭配火焰亮度检测器 (FPD) 可帮助这类化合物的检测
应用范围 : 半导体业空气中硫/磷化合物检测: 无尘室环境、滤材；材料表面硫/磷化合物污染；合成/制造产出气体检测