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超洁净 PFA/PP 采样管 (有机化合物 & 离子分析专用管路 )
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高纯度特殊气体/大宗气体微量不纯物分析
高纯度特殊气体/大宗气体微量不纯物分析 Special /Bulk gas analysis
半导体制程用特殊气体或大宗气体, 如: SiH
4
、NF
3
、NH
3
、CF
4
、N
2
、H
2
、O
2
、Ar..等其中微量不纯物CO/CO
2
/N
2
/Ar/H
2
/He/O
2
/THC(CH
4
) 分析,可藉由气相层析仪搭配脉冲式放电侦测器 (GC-PDHID)、热导侦测器 (GC-TCD)、火焰离子化侦测器 (GC-FID) 进行检测分析
应用范围 : 气体不纯物分析(光电面板制程、LED制程、半导体制程等气体品质确认);气体纯度测试;气体纯化效能分析;特殊气体不纯物分析