微量辉性有机化合物分析 VOCs Analysis
环境空气中气态分子化学污染物监测分析技术,利用采气罐、样品吸附管、采气袋等采集样品,经由气相层析质谱仪 (GC-MS) 或气相层析飞行时间质谱仪 (GC-QTOF) 进行微污染物定性与定量分析,侦测极限可至 single ppb & sub-ppb 浓度范围

应用范围 : 半导体业空气质量检测 : 制程环境、空气滤材效能、晶圆传送盒FOUP内部微污染;合成/制造产出气体检测;气体 (N2, He…) 中有机微污染检测