硫/磷化物分析 (P/S compounds analysis)

針對硫/磷化合物:二硫化碳 Carbon Disulfide (CS2)、 二甲基硫 Dimethyl Sulfide (DMS)、硫化氫 Hydrogen Sulfide (H2S) 等硫/磷化合物的檢測,有利於高科技廠區技術推進的污染排除,如在製程黃光區中DMS等硫化物造成光罩及曝光機霧化,使運轉成本增加與良率下降,利用高階濃縮技術及氣相層析搭配火焰光度檢測器 (FPD) 可幫助這類化合物的檢測

  • 應用範圍 : 半導體業空氣中硫/磷化合物檢測: 無塵室環境、濾材;材料表面硫/磷化合物污染;合成/製造產出氣體檢測