高纯度特殊气体/大宗气体微量不纯物分析

半导体制程用特殊气体或大宗气体, 如: SiH₄、NF₃、NH₃、CF₄、N₂、H₂、O₂、Ar..等其中微量不纯物CO/CO₂/N₂/Ar/H₂/He/O₂/THC(CH₄) 分析，可藉由气相层析仪搭配脉冲式放电侦测器 (GC-PDHID)、热导侦测器 (GC-TCD)、火焰离子化侦测器 (GC-FID) 进行检测分析

应用范围 : 气体不纯物分析(光电面板制程、LED制程、半导体制程等气体品质确认)；气体纯度测试；气体纯化效能分析；特殊气体不纯物分析