高純度特殊氣體/大宗氣體微量不純物分析 (Special /Bulk gas analysis)

半導體製程用特殊氣體或大宗氣體, 如: SiH4、NF3、NH3、CF4、N2、H2、O2、Ar..等其中微量不純物CO/CO2/N2/Ar/H2/He/O2/THC(CH4) 分析,可藉由氣相層析儀搭配脈衝式放電偵測器 (GC-PDHID)、熱導偵測器 (GC-TCD)、火焰離子化偵測器 (GC-FID) 進行檢測分析

  • 應用範圍 : 氣體不純物分析(光電面板製程、LED製程、半導體製程等氣體品質確認);氣體純度測試;氣體純化效能分析;特殊氣體不純物分析