超纯试剂微量元素分析 Trace metal analysis
使用感应耦合电浆串联式质谱仪 (ICP-QQQ) 进行微量元素分析,样品可为 UPW、超纯酸、碱、有机溶剂、蚀刻液...等化学品及晶圆表面萃取酸溶液,其侦测极限可达 ppq 浓度范围
应用范围 : 化学品原料控管:显影剂、蚀刻液、光阻剂、UPW;制程污染: 半导体蚀刻制程、生产制程段(空气中微量金属检测);晶圆表面残留;化学厂生产质量控管等 (如图制程特用化学品)
制程特用化学品