超純試劑微量元素分析(Trace metal analysis)   

使用感應耦合電漿串聯式質譜儀 (ICP-QQQ) 進行微量元素分析,樣品可為 UPW、超純酸、鹼、有機溶劑、蝕刻液...等化學品及晶圓表面萃取酸溶液,其偵測極限可達 ppq 濃度範圍

  • 應用範圍 : 化學品原料控管:顯影劑、蝕刻液、光阻劑、UPW;製程污染: 半導體蝕刻製程、生產製程段(空氣中微量金屬檢測);晶圓表面殘留;化學廠生產品質控管等 (如右圖製程特用化學品)

 

  • TAF 認證之實驗室 : 認證編號 2946
  • 證書編號 : L2946-180226