微量揮發性有機污染物分析 (VOCs Analysis)

環境空氣中氣態分子化學污染物監測分析技術,利用採氣罐、樣品吸附管、採氣袋等採集樣品,經由氣相層析質譜儀 (GC-MS) 或氣相層析飛行時間質譜儀 (GC-QTOF) 進行微污染物定性與定量分析,偵測極限可至  single ppb & sub-ppb 濃度範圍

  • 應用範圍 : 半導體業空氣品質檢測 : 製程環境、空氣濾材效能、晶圓傳送盒FOUP內部微污染;合成/製造產出氣體檢測;氣體 (N2, He…) 中有機微污染檢測