氣相層析高解析質譜分析

氣相層析飛行時間質譜儀，分析所得的精確分子量可排除同重素干擾並進一步進行結構解析與鑑定

應用範圍 : 製程環境空氣揮發性及半揮發性有機污染物檢測、未知物精確分子量解析與鑑定、空氣過濾材料使用週期監控、晶圓表面揮發性及半揮發性有機污染物檢測、晶圓傳送盒FOUP內部氣體微污染快速分析。