NFA-1007w
自动化硅片表面逸散性有机污染物分析设备

产品特点  
定点式自动化晶圆表面逸散性有机污染物在线分析设备
 可 24小时无人化放置硅片至石英加热炉内进行量测
 配合客户端使用之通信方式选择通讯互动模式或手动安装盒
 最大硅片量测尺寸 12 吋
 有效判断 200 种以上高低沸点之挥发性有机化合物
 整合式分析系统与优化侦测条件
 智能自发性检核与调校系统
 阈值设定，自动发报提醒
 校验模块搭配  STD&ISTD 标准气体，精准定量特定化合物种
 人性化操作接口与远段操控
 数据数据库与报告输出系统
 依客户原有分析方法优化或参考国际文献及法规  


产品规格  
说明 描述
量测物种 总有挥发性有机物(TVOC)、IPA、Acetone、Heptafluorobutyric anhydride 、2-Butanone 等 …
定量物种及范围 以 甲苯进行半定量模式
需求气源 纯氮气、氦气、零级空
需求电力 三相 220 V，30 A，50~60 Hz 
<<其他相关细节请洽销售人员>>