NFA-ALIS
智能型苏玛罐分析及数据输出系统

在线监测非粒状悬浮化学污染物(AMC)，针对无尘室环境对产品或制程的良率掌握与提升有关键性的影响

产品特点  

提供VOCs 采样罐分析检测整合设备
 机动性与临时性监控需求，利用采样罐样品进行样品分析，同时也适用一般实验室分析应用
 规格符合工安采气罐放置空间设计，层架式 16 组 6L 采气罐位置 (可弹性调整 2 组 15L 采气罐)
 简易安装后以软件操作，单一化的输入样品名称无需繁琐方法设定即可进行分析，以避免切换方法或设定时发生的人为错误
 全机台使用去活化管路，同时缩短进样路径提高进样效率。
自动进样程序包含 Auto-purge 功能可有效解决高浓度样品交叉污染问题
 有效判断 200 种以上高低沸点之挥发性有机化合物
 整合式分析系统与优化侦测条件
 校验模块搭配 STD & ISTD 标准气体體，精准定量特定化合物种
 人性化操作接口与远段操控
 数据数据库与报告输出系统

产品规格  

说明 描述
量测物种 总有挥发性有机物(TVOC)、IPA、Acetone、Heptafluorobutyric anhydride 、2-Butanone 等 …
环境检测化合物种，可依客户需求进行分析条件设定
定量物种及范围 < 50 pptv ( 于半导体标准方法进行量测)
设备侦测极限 < 50 pptv  ( 於半導體標準方法進行量測)
设备稳定性 RSD <15 % (于 0.06 ppb 浓度下进行分析)
需求气源 纯氮气、氦气
需求电力 三相 220 V，30 A，50~60 Hz 
尺寸与重量 1985 mm X 1070 mm X  1600 mm ; 550 kg
<<其他相关细节请洽销售人员>>