NFA-C350
在线痕量离子污染物监控设备          
应用于半导体制程环境及厂务气体排放之阴/阳离子污染物实时监控。自动化系统将环境中的气体导入抗污染冲击瓶 (Impinger) 浓缩采样，再将吸收液利用离子层析仪进行实时侦测。客制化分析方法完整设定于简易之人机操作接口，简化繁复之操作及数据处理流程，以降低人力及时间成本

產品特點  
固定式设备，以厂置布点最高可布 100个点位，设备内建２组 Manually Ports 采样瓶分析点位
 可 24小时无人化监控环境中阴/阳离子污染物
 特殊处理高洁净进样管，布点范围可达方圆 150 m，涵盖范围 70650 m2 ，200 m 以上则需辅以修正系数
 NF 独家设计在线校验模块可执行高浓度标准品稀释后标准添加，减少设备停机时间
 自动稀释冲提液模块，减少人为配制时间与误差
 搭配高浓度离子标准品，含检测分析报告(COA)
 整合式分析系統與最佳化偵測條件
 智能自发性检核与调校系统
 智能锁点功能，单点与矩阵式联锁
 阈值设定，自动发报提醒
 人性化操作接口与远段操控
 数据数据库与报告输出系统
产品规格  

说明 描述
量测化学品 半导体制程环境空气监控 、工业上产品质量检测、水质检测… 等  
其他化学品可客制化开发
量测离子 MA/ Anion  : F -、Cl - 、Br - 、NO 2- 、NO3 - 、PO4 3- 、SO4 2- 、COOH-、CH3COO-… 等
MB/ Cation : NH4+、Na+ 、Mg2+ 、Ca2+、K + …… 等
总酸  : HCl、HBr、HF、H2SO4 (H2S、SOX)、H3PO4、HNO3、HNO2、CH2O2及CH3COOH，
总碱  : NHx
定量物种及范围 高精密检量线配制模块，线性Ｒ值＞0.995 ; 查核样品回收率达 ±20% 内
设备稳定性 RSD < 15 % (分析浓度 2.5 ppbv，阴/阳离子)
添加回收 回收率 ± 20 % 
需求化学品 阴/阳离子淋洗液、抑制器反应试剂
需求气源 纯氮气、零级空气
需求电力 单相 220 V，20 A，50~60 Hz 
尺寸与重量 1507 mm X 973 mm X  2210 mm ; 500 kg
<<其他相关细节请洽销售人员>>