NFA-1007Advanced
在线气态分子污染物监控设备

在线监测非粒状悬浮化学污染物(AMC)，针对无尘室环境对产品或制程的良率掌握与提升有关键性的影响

产品特点  
定点式 VOCs 在线分析设备
可 24小时无人化监控气态分子污染物 / 挥发性有机化合物
最高定量点位 80点，本机含外接式采样罐分析点位
布点范围可达方圆 150 m，涵盖范围 70650 m2 ，200 m 以上则需辅以修正系数
有效判断 200 种以上高低沸点之挥发性有机化合物
整合式分析系统与优化侦测条件
智能自发性检核与调校系统
智能锁点功能，单点与矩阵式联锁
可限值设定，自动发报提醒
校验模块搭配 STD & ISTD 标准气体，精准定量特定化合物种
人性化操作接口与远段操控
数据数据库与报告输出系统 
                                                                                                                          
产品规格  

    
说明 描述
量测物种 总有挥发性有机物 (TVOC)、IPA、Acetone、Heptafluorobutyric anhydride 、2-Butanone 等 …
定量物种及范围 高精密检量线配制模块，可线性定量物种达 30种以上，Ｒ值＞0.995 ; 查核样品回收率达 ±20% 内
设备侦测极限 < 50 pptv  
设备稳定性 RSD <10 % (于 0.06 ppb 浓度下进行分析，37 VOCs混合标准品)
需求气源 纯氮气、氦气
需求电力 三相 220 V，30 A，50~60 Hz 
尺寸与重量 1352 mm X 1080 mm X  2200 mm ; 500 kg
<<其他相关细节请洽销售人员>>