On-line Trace Element Monitoring Equipment
           微量元素線上監控設備
           NFA-i108s/IS-T20D


自動化樣品導入

全系統使用NF生產高潔淨度PFA管線與PFA 閥件組,可客製化多點位進樣模組

獨家設計線上即時切換基質(化學品)模式

經由獨家安全設計唯一確實執行多種基質(含硫酸)全自動化切換樣品分析模式
 

 

高靈敏度的偵測系統

佳化調整之段極柱感應耦合電漿串聯式質譜儀 (Well conditioned ICP-QQQ) ,搭配高精密度線上動態添加標準品與主動式正壓進樣導入,元素之偵測極限可達sub-ppt~ ppq level

NF獨家設計線上標準添加及稀釋模組ACC Mixing

依化學品之特性不同,必要時執行線上稀釋 (如:硫酸…等) 標準添加自動配製檢量線功能
QC查核點訂定與自動配製 (可依固定筆數進行查核確保數據準確性)

一體化的機構設計

符合標準SEMI S2安規要求

人性化操作介面、數據彙整資料庫

軟體整合功能、數據匯出、趨勢圖彙整

遠端操作便利性

即時與完整之售後服務