On-line Foup AMC Monitoring Equipment
Foup氣態分子污染物線上監控設備 - NFA-1007F

   

線上監測非粒狀懸浮化學污染物(AMC),針對晶圓傳送盒( FOUP)內環境進行監控,對產品製程的良率掌握與提升有關鍵性的影響

24小時自動化樣品導入

24小時自動化樣品導入系統,利用高潔淨度之PFA管線快速採取晶圓傳送盒內環境空氣

同步式內標準品導入系統

每個注入的樣品均同步導入 NF-ISTD,以達到即時修正機台訊號變化,增加分析數據穩定度和可信度目的

自動線上鎖點與復歸機制

系統自動執行線上異常點連續監控,待鎖點偵測數值確認無誤並落入允收標準內,系統即自動復歸為常規監控狀態

遠端即時儀控

人性化操作介面、數據彙整資料庫

軟體整合功能、數據匯出、趨勢圖彙整

即時與完整之售後服務