On-line AMC Monitoring Equipment
高解析度氣態分子污染物線上監控設備 - NFA-1007QT



高解析度線上監測非粒狀懸浮化學污染物(AMC),利用高分辨率飛行質譜儀在常見 38 種有機化合物可於 10 分鐘內完成採樣、分析與數據判讀,針對無塵室環境即時監控及製程良率掌握與提升有絕對的可靠度

具備在地生產技術,可依新發現化合物種進行客製化標準氣體開發與生產,以增進樣品分析的可靠性與穩定性

未知物鑑定

一級高分辨質譜解析數據,同時兼備NIST search與高分辨二級質譜斷片解析能力,以精確判定未知化合物種類

24小時自動化樣品導入

24小時自動化樣品導入系統,高潔淨度之PFA管線,最大佈點距可達方圓 150 m 內建高效濃縮裝置(在地化3mm濃縮管技術)

同步式內標準品導入系統

每個注入的樣品均同步導入 NF-ISTD,以達到即時修正機台訊號變化,增加分析數據穩定度和可信度

自動線上鎖點與復歸機制

系統自動執行線上異常點連續監控,待鎖點偵測數值確認無誤並落入允收標準內,系統即自動復歸為常規監控狀態

遠端即時儀控

人性化操作介面、數據彙整資料庫

軟體整合功能、數據匯出、趨勢圖彙整

SEMI S2 認證機台

即時與完整之售後服務