On-line Anion/Cation Contaminants Monitoring EquipmentMA/MB 線上微量離子污染物監控設備 

     
 



應用於半導體製程環境及廠務氣體排放之陰/陽離子污染物即時監控。自動化系統將環境中的氣體導入抗污染衝擊瓶 ( Impingers ) 濃縮採樣,再將吸收液利用離子層析儀進行即時偵測。客製化分析方法完整設定於簡易之人機操作介面,將繁複之操作流程及數據處理,簡化為自動分析及數據判讀


全自動化樣品導入

多點採樣可選配最多高達80個點位
獨家設計動態流場式16採樣點位進樣模組盤面,特別針對半導體產業開發超潔淨採樣管 ( 100米/ PFA管 ),軟體自動控制,可程序或指定採樣點監控,降低人力及時間成本



抗污染衝擊瓶 ( Impinger ) 採樣模組

高潔淨度衝擊瓶、PFA 閥件及管線可有效避免污染,多組式設計可同步分析、預先採樣及分析後清洗
搭配高效率穩定抽氣泵最大抽氣功率達 5 L/min,流量穩定性為 ±1 %,三段衝擊瓶 (選配) 設計掌控樣品破出現象,加壓式氮氣及超純水自動清洗衝擊瓶,去除樣品殘留污染

整合式進樣模組

整合閥組設計,縮短樣品流路以減少 Dead Volume及樣品耗損,達到最佳進樣效率

獨家設計線上自動配製標準品模組

自動配製檢量線功能,快速定量與QC 查核 ( 可依固定筆數或固定時間進行濃度點查核 ),確保數據準確性
高精密度自動配置檢量線





自動化執行程序



自動配製移動相模組

線上自動配製移動相,依方法需求以高濃度標準試劑自動稀釋為適用之移動相比例,排除人為配製誤差

同步雙通道離子偵測器

陰離子或陽離子混合物可藉由庫倫作用力 (Coulombic interaction),與填充陰離子交換樹脂或陽離子交換樹脂的管柱結合,利用移動相使目標物離子被脫離而沖提出來。親和力越大的離子沖提時間越長,達到不同滯留時間而有分離的效果, 以進行定性及定量之分析
可選配單通道離子偵測器

自動分析條件優化

依規格需求優化進樣條件、離子分析條件、固定相、移動相、分析時間、操作執行程序……等

人性化操作介面、數據彙整資料庫

軟體簡易控制採樣程序三步驟 : 啟動自動分析、數據結果即刻判讀、報告同步輸出
客製化報告格式,減少人為後續處理數據之繁複作業
可依數據之特定性繪製趨勢圖 (Ex :離子種類、特定進樣Port位……等)
數據儲存與備份功能確保原始數據完整性

自動智能設計與警示系統

  • 全自動化線上樣品連續式 pre-purge 採樣模組,以確保樣品分析之即時與迅速
  • NF獨家One Method 整合技術,Easy Operation (非一般業界多重分析方法複雜操作程序)
  • 智能式 Auto-QC與 Auto-re-calibration,即時呈現機台及掌控分析狀態
  • 監控現場異常跳動數值時,可智能式(或矩陣)自動鎖點連續檢核與自動回線之功能
  • 內建OOC/OOS 自動警示與發報功能

確保樣品分析之濃度過高並超出系統預設範圍,系統會自動判斷並停止分析避免後續分析遭受污染,即時監控之設備,須具備穩定的機況與精準的分析結果

線上監控系統執行程序

Procedure for Anions/Cations Contaminant Analysis




遠端操作便利性

系統可自動計算並產出報告,無須人員至現場操作,可依客戶遠端處理系統格式做相容性設定,達到遠端多方同步收取數據之便利性

機構設計

強化鋼體機架,整體安全性及電力標準符合SEMI S2 安規設計,符合各產業適用性

即時與完整的售後服務

專業團隊提供現場設備維護保養、即時問題解決
彈性的客戶服務合約方案